고급형 스마트 센서
측정중심거리 20mm~1500mm의 제품을 구성
최대분해능 0.02㎛(0.001㎛)를 실현
응답속도 최고속도 110㎲
병렬 출력 가능
ZS-L
2차원 CMOS 레이저 타입 스마트 센서
110μs의 초고속 샘플링
색,광택에 상관없이 안정적인 검출
2μm/5μm의 고분해능
알고 싶은 정보를 원터치로 설정 및 확인 가능
글래스 두께, 평탄도, 휘어짐 계측에 최적(ZS-LD40)
프린트 기판, 흑색수지, 금속을 안정적으로 계측(ZS-LD50)
ZS-LD10G/15G
노즐 갭 계측 센서
다양한 FPD 유리 기판의 표면을 고정밀도로 계측하여 품질과 수율 향상에 공헌
이동/분해 가능. 이동 계측시 패턴의 영향이 적음
노즐의 목표 지점과 계측포인트를 일치시켜 계측